Das Ascent® SMS AP -Netzgerät von Advanced Energy mit Advanced Pulsing bietet die präziseste, anpassbarste Plasmasteuerung der Branch

Das kompakte 10 kW Ascent SMS AP besitzt den weitesten betriebssicheren Funktions-bereich (SOA) mit Spitzenspannungen von bis zu 1200 V und Puls-Frequenzen von 500 Hz bis 150 kHz. Sein progressives Arc-Management-System ist mit Hilfe der reverse Spannung die fortschrittlichste Lösung der gesamten Branche und bietet die geringste Arc-Energie mit selbstjustierenden Arc-Parametern, die sich mit dem Prozess-Fortschritt dynamisch verändern. Die AP-Wellenform bietet Boost-Spannung, reverse Spannung, Kontrolle und erweiterte Pulsform, die es erlaubt, Feinabstimmungen an der individuellen Film-Morphologie und an gewünschten Filmeigenschaften vorzunehmen.

„Advanced Energy verbessert die Leistung von gepulsten DC-Netzgeräten mit beispielloser Anpassungsfähigkeit in single Magnetron Sputter-Anwendungen weiter“, sagte Dhaval Dhayatkar, Senior Director of Marketing, Plasmapower Produkte bei Advanced Energy. „Vollgepackt mit unseren fortschrittlichsten Technologien, einschließlich einer konfigurier-baren Wellenform, progressivem Arc-Management, SOA (sicherer Arbeitsbereich) der Spitzenklasse, großem Frequenzbereich und unserem PowerInsight-Prozessoptimierungs-tool, hilft das neue 10 kW Ascent SMS AP-Netzgerät unseren Kunden dabei, die höchst-möglichen Stufen an Präzision, Wiederholbarkeit und Ausbeute in fortschrittlichen Plasmaprozessen zu erreichen.“

Die neue Einheit ist das erste AE-Netzgerät, das die PowerInsight-Prozess-charakterisierungs- und Optimierungssoftware integriert. PowerInsight vereinfacht die Sammlung, Analyse und Aufbereitung von Daten aus kritischen Prozessen und bietet Intelligenz, die benutzt werden kann um Prozesse zu optimieren, die Produktivität zu verbessern und ungeplante Ausfallzeiten von Prozessgeräten effizient zu reduzieren.

Ausführliche Produktinformationen und technische Daten finden Sie unter

www.advancedenergy.com/products/plasma-power-generators/pulse-dc-systems/ascent-ap-series.

Das 10 kW Ascent SMS AP-Netzgerät wird auf der SEMICON West 2021, die vom 07. bis 09. Dezember im Moscone Center in San Francisco (CA) stattfindet, am Stand 834 von Advanced Energy vorgestellt werden.