Automatisiertes Testen von MEMS auf Wafer-Ebene
Um die Produktionskosten für MEMS niedrig zu halten bei gleichzeitig hoher Ausbeute und hoher Qualität, bewährt sich immer mehr die automatisierte Prüfung auf Wafer-Level bereits vor dem Vereinzeln der Chips. Standardmäßig erfolgt dies durch elektrische Testverfahren. Bestimmte Prüf- und Inspektionsaufgaben erfordern allerdings eine direkte, zumeist optische Messung der mechanischen Funktion der filigranen Strukturen der mikro-elektro-mechanischen Systeme (MEMS).
Die optischen Messgeräte für Mikrosystemtechnik von Polytec – sogenannte MSA Micro System Analyzer – sind so konzipiert, dass sie problemlos in nahezu alle kommerziell erhältliche Wafer-Prober integriert werden können. Die Kombination aus (halb-)automatischer Probe Station und einem mikroskopbasierten MSA-600 Scanning Laservibrometer ermöglicht eine rationelle und schnelle Messung des dynamischen Verhaltens von MEMS-Bauteilen – und das noch direkt auf dem Wafer in Serie. MSA von Polytec helfen also direkt dabei, den Ausschuss früh zu detektieren, die Prozessstabilität zu überwachen und die Ausbeute zu maximieren. Dadurch werden sie zum effizienten Prüfwerkzeug für den Produktionsprozess und sichern einen hohen Gewinn für den MEMS-Produzenten.
Polytec wurde 1967 gegründet und bot als Pionier in Deutschland erstmalig kommerzielle Lasertechnologie für Industrie und Forschung an. Aufbauend auf dem Erfolg im Distributionsgeschäft begann Polytec in den 70er Jahren mit der Entwicklung und der Fertigung eigener, innovativer, laser-basierter Messgeräte.
Gestern wie auch heute wird der weltweite Standard für laser-basierte Schwingungs-, Geschwindigkeits- und Längenmesssysteme von Polytec Produkten definiert. Die Entwicklung von High-Tech-Produkten ist bei Polytec eine strategische Kernaktivität und hat neben den Lösungen aus dem Bereich optische Messsysteme zu einer Palette von weiteren Eigenprodukten in den Anwendungsgebieten Oberflächenmesstechnik, Analytische Messtechnik, Noise Analysis und Prozessautomation geführt.
Unsere weltweiten Aktivitäten
Polytec ist ein weltweit tätiges Unternehmen mit Niederlassungen in Europa, Nord-Amerika und Asien. In der internationalen Fachwelt genießt Polytec eine hervorragende Reputation für innovative Produkte, herausragende Qualität und erstklassigen Service.
Die innovativen Lösungen von Polytec erlauben unseren Kunden, eigene technologische Führungsstärke in den unterschiedlichsten Bereichen zu behaupten. In Märkten von Automobilbau, Luft- und Raumfahrttechnik und Maschinenbau über Data Storage, Microsystemtechnik und Nanotechnologie bis hin zu Biologie und Medizin wird das Vertrauen der Kunden in Polytec und seine Produkte immer wieder bestätigt. Weiterhin stellt die Distribution exzellenter High-Tech-Produkte anderer innovativer Hersteller eine Kernkompetenz von Polytec dar.
Bei Polytec sind wir der höchstmöglichen Zufriedenheit unserer Kunden verpflichtet und bieten deshalb neben exzellenten Produkten über unsere Niederlassungen in Europa, Nord-Amerika und Asien direkt vor Ort auch Service, Support und Anwendungsunterstützung. Polytec ist seit 1994 ISO-zertifiziert, zuletzt nach DIN EN ISO 9001:2015.
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