GlobiTech setzt auf AIXTRON für Expansion in den SiC-Markt

Die G10-SiC wurde offiziell im September 2022 vorstellt. Innerhalb kürzester Zeit hat sich die neue Anlage zum Referenzsystem für Hersteller von Leistungselektronik auf Basis von 150- und 200-mm-SiC-Bauelementen sowie für Foundries wie GlobiTech entwickelt. GlobiTech ist eine hundertprozentige Tochtergesellschaft von GlobalWafers Co. ("GlobalWafers"), die Siliziumkarbid- und Silizium-Epitaxie-Wafer herstellt und sich auf den Energiesektor und das Marktsegment der Elektrofahrzeuge (EV) konzentriert.

"Wenn einer der größten Epi-Wafer-Hersteller und Foundries wie GlobiTech sein Geschäft diversifiziert, ist das ein klares Signal für einen langanhaltenden Trend in der Halbleiterindustrie: SiC ersetzt in immer mehr Anwendungen das klassische Silizium. Entscheidet sich ein führendes Unternehmen wie GlobiTech für AIXTRON und für unsere neue G10-SiC, ist es darüber hinaus natürlich eine große Ehre und gleichzeitig noch vielmehr: Denn es bestätigt unsere Gesamtstrategie und ist ein Indiz für weiteres Wachstum", sagt Dr. Felix Grawert, Vorstandsvorsitzender der AIXTRON SE.

GlobiTech mit Sitz in Sherman im US-Bundesstaat Texas nutzt neben der G10-SiC von AIXTRON aktuell auch Anlagen des Typs G5WW C, um damit im industriellen Maßstab zu produzieren. In den kommenden Jahren werden weitere Anlagenkapazitäten installiert. Nach dem Vorbild des Siliziumgeschäfts liefert GlobiTech für den Markt sowohl SiC-Substrate als auch SiC-Epitaxie.

„Mit AIXTRON haben wir einen starken Partner gefunden, der uns dabei unterstützt, unsere Vision sowie unsere Pläne und das Geschäft auf den SiC-Epitaxie-Markt auszuweiten. Das ist ein entscheidender Schritt, da die SiC-Technologie einer der am schnellsten wachsenden Zweige in der Halbleiterindustrie ist. Mit den AIXTRON-Anlagen gelingt es uns, in unserer Fab den höchsten Wafer-Ertrag zu erzielen. Hinzu kommt, dass das Team von AIXTRON einfach genau weiß, was es im Wettbewerb mit Silizium braucht, um in diesem Markt erfolgreich zu wachsen – und das ist gepaart mit einem hervorragenden Kundenservice", sagt Mark England, Präsident von GlobalWafers.

Die G10-SiC ist die erste SiC-Epitaxie-Anlage auf dem Markt, die die Produktion von SiC-Epi-Wafern im industriellen Maßstab ermöglicht.  Da die G10-SiC eine flexible Konfiguration mit zwei Wafer-Größen mit 9×150 und 6×200 mm bietet, unterstützt sie die SiC Industrie maßgeblich bei dem Übergang von derzeit 150 mm (6 Zoll) auf 200 mm (8 Zoll) Wafer-Durchmesser. Die neue Plattform basiert auf AIXTRONs bewährten Lösung zur vollautomatischen Wafer-Beladung von Kassette zu Kassette (Cassette-to-Cassette) inklusive Hochtemperatur-Wafer-Transfer. In Kombination mit den Prozessfähigkeiten für hohe Wachstumsraten und einer exzellenten Epi-Wafer-Leistung in Bezug auf Qualität und Uniformität bietet die G10-SiC den besten Durchsatz ihrer Klasse pro Quadratmeter Produktionsfläche. Damit ermöglicht sie die niedrigsten Betriebskosten, die bisher in der Industrie erreicht wurden. AIXTRON geht davon aus, dass die neue G10-SiC im Jahr 2023 das meistverkaufte Produkt des Unternehmens sein wird.

Das Wide-Bandgap-Material SiC ist auf dem besten Weg, zur Mainstream-Technologie für effiziente Leistungselektronik zu werden. Durch den zunehmenden Einsatz von SiC-basierten Leistungshalbleitern in Lösungen für die Elektromobilität und den Ausbau der Ladeinfrastruktur steigt die weltweite Nachfrage nach SiC-Wafern rapide an. Mit seinen herausragenden Materialeigenschaften bieten SiC-Halbleiter eine höhere Energieeffizienz als herkömmliche Leistungselektronik auf Basis von Silizium. Entsprechend trägt SiC erheblich dazu bei, den globalen CO₂-Fußabdruck zu reduzieren.

About GlobalWafers

GlobalWafers is a multinational corporation, with 17 manufacturing and operation sites located in 9 countries. GlobalWafers has a wholly-owned subsidiary, GlobiTech, located in Sherman, which manufactures silicon carbide and silicon epitaxial wafers focused on power and electric vehicle (EV) market segments. Additionally in the United States, GlobalWafers has a 200-millimeter silicon-on-insulator wafer factory located in St. Peters, Missouri, and is in the process of a 300-millimeter silicon-on-insulator expansion to address burgeoning radio frequency (RF) applications.

Zukunftsgerichtete Aussagen

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