EU-Förderprojekt 14ACMOS: Physik Instrumente an Entwicklung des nächsten Technologieknotens für die Halbleiterherstellung beteiligt

Aktuell entsprechen mit der 3-nm-Technologie produzierte High-End-Mikrochips dem Stand der Technik. Bereits im nächsten Jahr sollen Fertigungstechnologien für den 2-nm-Technologieknoten zur Verfügung stehen und bis 2027 für 1,4 nm, also 14 Angström. Das mit 95 Millionen Euro dotierte Forschungsprojekt 14ACMOS wird von der EU kofinanziert und vom „Gemeinsamen Unternehmen für Chips (Chips JU)“ unterstützt. Es bündelt das Know-how und die Entwicklungskompetenz der führenden Ausrüster der Halbleiterindustrie Europas. Koordiniert wird das Projekt, an dem 25 Partner aus sechs Ländern beteiligt sind, von ASML, dem niederländischen Weltmarktführer für Lithografiesysteme zur Halbleiterherstellung.

PI ist seit Jahrzehnten Systempartner für die Halbleiterindustrie und mit Positioniersystemen in zahlreichen Bereichen der Halbleiterfertigung weltweit vertreten. Die Produkte des Spezialisten für die Nanopositionierung kommen heute schon beispielsweise bei der Lithografie oder der Metrologie für die Qualitätskontrolle zum Einsatz. Die im Rahmen des Projektes 14ACMOS zu entwickelnden Positioniersysteme müssen auch unter Vakuumbedingungen präzise und hochdynamisch funktionieren, damit sie wirtschaftlich einsetzbar sind.

Link zum Projekt: https://cordis.europa.eu/project/id/101096772

“This project is Co-Funded by the European Union under grant agreement No 101096772 and is supported by the Chips Joint Undertaking and its members.”

Angström wird als Maß zur Beschreibung von Atomabständen genutzt. Ein Angström entspricht einem zehnmillionsten Millimeter oder 0,1 Nanometern (nm). Zum Vergleich: Ein menschliches Haar ist etwa 80.000 Nanometer dick.