Das neue Impedanzanpassungsnetzwerk von Advanced Energy bietet ultraschnelle, HF-synchronisierte Abstimmung auf mehrstufige Impulszustände

Die Halbleiter-Ätzprozesse der nächsten Generation erfordern ein beispielloses Maß an Plasmakontrolle bei schneller Taktung, häufigen Übergängen und längeren Vorgängen, die für die Herstellung von kleineren, schnelleren und effizienteren Chips mit komplexeren 3D-Strukturen erforderlich sind.

Das NavX Anpassungsnetzwerk von Advanced Energy wurde speziell für direkte Kommunikation zwischen Anpassungsnetzwerk und Generator sowie ultraschnelle Abstimmung entwickelt, dabei kommen AE Hardware und proprietäre Algorithmen zum Einsatz. Dies ermöglicht HF-synchronisierte Impedanzanpassung während mehrstufiger Impulszustände zur präzisen Steuerung der Plasmaeigenschaften. Zusammen mit dem eVerest™ Generator vervollständigt NavX das neueste HF-Übertragungssystem von AE und bietet eine nie vorher mögliche Kontrolle der Plasmaeigenschaften.

„Aufbauend auf über 20 Jahre Erfahrung in der Entwicklung von fortschrittlichen HF-Übertragungssystemen für Plasmaprozesse redefiniert das NavX Anpassungsnetzwerk Abstimmgeschwindigkeit, Ausgereiftheit und HF-Snchronisierung für exakte Plasmakontrolle über die komplexesten Impulsprofile“ sagt Jürgen Braun, Senior-Vizepräsident für Plasmaproduke bei Advanced Energy. „Der bahnbrechende wählbare Abstimmungsalgorithmus der Plattform, der eine Impedanzanpassung an mehrere HF-Impulszustände ermöglicht, reduziert auf Anhieb die reflektierte Leistung in Prozessen mit kürzeren HF-Einschaltzeiten.“

NavX synchronisiert direkt mit dem eVerest HF-Generator und verwendet proprietäre Advanced Selectable Tuning und Velocity Tuning Algorithmen für die Optimierung der Reaktionsgeschwindigkeiten für Impussequenzen. Die +/- 10% Frequenzspanne des Systems ermöglicht eine schnellere Anpassung und Zugriff auf einen breiteren Impedanzbereich. Immunität gegen Intermodulationsverzerrung (IMD) gewährleistet eine präzise Abstimmung bei Mehrfrequenzanwendungen und skalierbare Impulszustände ermöglichen neue Energiebereiche.

Das NavX Anpassungsnetzwerk ist vollständig kompatibel mit der PowerInsight by Advanced Energy^® IoT-Plattform, die einen schnellen Zugriff auf hochauflösende, verwertbare Daten zur Unterstützung von Prozessoptimierung bietet.

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