Auftrag aus der Halbleiterindustrie bestätigt führende Position von SINGULUS TECHNOLOGIES bei Produktionsanlagen für magnetische Schichten
– Anlage wurde von europäischen Kunden geordert
– Applikation: Produktion der neuesten Generation von magnetischen (TMR) Sensoren
– Für Wachstumsmärkte wie Elektromobilität und Photovoltaik
SINGULUS TECHNOLOGIES AG SINGULUS TECHNOLOGIES erhält einen Auftrag für eine Vakuum-Beschichtungsanlage des Typs ROTARIS von einem europäischen Halbleiterproduzenten. Das Einsatzgebiet ist die Serienfertigung hochpräziser magnetischer TMR-Sensoren (Tunnel Magneto Resistance = magnetischer Tunnelwiderstand), die immer mehr Anwendungen wie z.B. im Bereich Automotive, Photovoltaikumrichter und Industrie erobern. Das Vertragsvolumen liegt im niedrigen einstelligen Mio. € Bereich.
Die Clustertools des Typs ROTARIS erlauben unter Produktionsbedingungen Schichten reproduzierbar mit Genauigkeiten von einem Zehntel Angström
(10-11 m) im Ultrahochvakuum aufzuwachsen. Dies entspricht weniger als einer atomaren Monolage homogen auf einem Wafer mit einem Durchmesser von 300 mm.
Diese extreme Präzision ist z.B. bei TMR-Sensoren, welche den magnetischen Tunnelwiderstand ausnutzen, erforderlich. TMR Sensoren zeigen höhere Widerstandsänderungen als herkömmliche AMR, GMR oder Hall-Sensoren und verzeichnen ein sehr dynamisches Wachstum.
Mit ihnen lassen sich z.B. indirekt Ströme in Leitungen über deren Magnetfeld sicher und galvanisch getrennt messen. Anwendungen finden sich u.a. in der Automobilindustrie, bei der Ladeinfrastruktur für Elektrofahrzeuge sowie Photovoltaikwechselrichter.
Dr. rer. nat. Christian Strahberger, Chief Operating Officer (COO) und verantwortlich für das Halbleitergeschäft bei SINGULUS TECHNOLOGIES: „Unser Kunde hat nach umfangreicher Prüfung der Beschichtungsergebnisse festgestellt, dass die ROTARIS Vakuum-Beschichtungsanlage die besten Ergebnisse hinsichtlich Schichtdickenkontrolle und Qualität der Beschichtung erreicht ".
Mit der Vakuum-Beschichtungsanlage, die nach dem Prinzip der Kathodenzerstäubung arbeitet, stärkt SINGULUS TECHNOLOGIES seine Marktstellung als Hersteller und Entwicklungspartner für innovative Beschichtungstechnologien für die verschiedenen Halbleiter-Anwendungen. Die ROTARIS Anlage basiert auf dem Prinzip des „Rotating Substrate Module". Die Maschine ist neben ihrer Eignung in der industriellen Fertigung auch für Forschungs- und Entwicklungsanwendungen, die eine hohe Flexibilität erfordern, prädestiniert.
Eine verantwortungsvolle und nachhaltige Unternehmensführung hat für SINGULUS TECHNOLOGIES einen hohen Stellenwert. SINGULUS TECHNOLOGIES entwickelt und baut innovative Maschinen und Anlagen für effiziente und ressourcenschonende Produktionsprozesse, die weltweit in den Bereichen Solar/Wasserstoff, Halbleitertechnik, Medizintechnik, Consumer Goods und Datenspeicher eingesetzt werden. SINGULUS TECHNOLOGIES sieht Nachhaltigkeit als eine Chance an, sich mit innovativen Produkten, die diesem Grundgedanken folgen, entsprechend zu positionieren.
Im Mittelpunkt stehen dabei:
• Umweltbewusstsein
• Das Schonen von Ressourcen
• Das Vermeiden von unnötiger CO2-Belastung
Die Kernkompetenzen des Unternehmens beinhalten die verschiedenen Prozesse der Beschichtungstechnik, der Oberflächenbehandlung und Nasschemie sowie thermische Verfahrensprozesse.
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