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Flache Drehtische für das Wafer-Handling
Die Steinmeyer Gruppe gilt als ausgewiesener Spezialist für die Konstruktion, Entwicklung und Herstellung anspruchsvoller Positionierlösungen zur Wafer- und Chip-Herstellung. Ein Beispiel sind die Drehtische der Baureihen DT200 und DT310. Die hochpräzisen Rotationssysteme sind flach, reinraumtauglich, wartungsfrei sowie kundenspezifisch anpassbar und ermöglichen ein effizientes, wirtschaftliches und gleichzeitig sehr platzsparendes Wafer-Handling. Drehtische beziehungsweise Rotationstische können Proben und Bauteile exakt in einem definierten Winkel positionieren. Dafür werden diese je nach Anwendung mit einem optimalen Antrieb und Messsystem ausgestattet. In den Reinraumumgebungen der Halbleiterindustrie kommen weitere Anforderungen hinzu, vor allem in Bezug auf Partikelarmut, Strahlungsresistenz, Kompaktheit und Wartungsfreiheit. Die Drehtische der Baureihen DT200 und DT310 von Steinmeyer erfüllen diese Anforderungen zu 100 % und…
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Innovative Positionierlösung für die DUV-Lithografie
Für die DUV-Lithografie hat Steinmeyer am Standort Dresden, Europas größtem IKT-/Mikroelektronik-Zentrum, eine ultrakompakte, hochpräzise Positionierlösung zur Wafer-Belichtung in trockener, sauerstofffreier Stickstoff-Atmosphäre entwickelt. Die innovative Baugruppe ist als optionales Add-on zur Integration in eine bestehende Maschine konzipiert und setzt Maßstäbe in puncto Kompaktheit, Zuverlässigkeit sowie Partikelarmut. Dank ihrer breiten Technologiekompetenz, ihrer umfassenden Engineering-Expertise, ihrem tiefen Anwendungsverständnis und ihrem großen Erfahrungsschatz ist die Steinmeyer Gruppe ein gefragter Partner bei der Konstruktion, Entwicklung und Herstellung anspruchsvoller Positionierlösungen für die Wafer- und Chip-Herstellung. Ein Paradebeispiel für die hohe Lösungskompetenz am Standort Dresden ist der ergänzende Polarisationsfilter für die Miniaturisierung und Automatisierung in der DUV-Lithografie. Ergänzender Polarisationsfilter für die DUV-Lithografie Der DUV-Polarisationsfilter ist mit Abmessungen…
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Die Steinmeyer-Gruppe auf der AMB 2024
Auf der AMB 2024 in Stuttgart stellt die zur Steinmeyer-Gruppe gehörende August Steinmeyer GmbH & Co. KG einen umfangreichen Produktbaukasten für ihre Kugelgewindetriebe vor. Ein weiteres Messe-Highlight ist das modulare High-Speed-Gantry der Unternehmensgruppe für hochgenaue Positionieraufgaben in der Automation. August Steinmeyer präsentiert auf der AMB ausgewählte Kugelgewindetriebe sowie ein breites Portfolio an Bauteilen unter anderem gerollte oder geschliffene Spindeln, verschiedene Muttervarianten und Abstreiferarten. Damit zeigt das Unternehmen, was mit einer individuellen Auslegung von Kugelgewindetrieben und dem innovativen Produktbaukasten möglich ist. Modulares High-Speed-Gantry Das Messe-Gantry, das am Standort Dresden realisiert wurde, setzt Maßstäbe in puncto Performance, Präzision im Submikrometer-Bereich, Dynamik und Anpassungsfähigkeit. Es besteht aus zwei synchron verfahrenden Achsen, einer Quertraverse…
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Miniatur-Gleitgewindetriebe in der Halbleiterindustrie
Bei High-End-Anwendungen in der Halbleitertechnik, Elektronik oder Forschung und Entwicklung schreitet die Miniaturisierung und Automatisierung stetig voran. Positionier- und Antriebssysteme müssen unter extremen Umgebungsbedingungen präzise, sauber, zuverlässig und wartungsarm arbeiten. Die zur Steinmeyer-Gruppe gehörende Feinmess Suhl GmbH entwickelt kompakte, robuste und langlebige Miniatur-Gleitgewindetriebe, die sich nach Kundenwunsch anpassen lassen. Wenn Bauteile, Komponenten oder Baugruppen in anspruchsvollen Umgebungen wie Vakuum, extrem trockener Luft beziehungsweise Stickstoff, Edelgasatmosphäre oder Reinraum zum Einsatz kommen, ist bei der Materialauswahl ein besonderes Know-how gefragt. Die Gleitgewindetriebe werden in Suhl optional aus Messing, Stahl oder Edelstahl bis hin zu Kunststoff gefertigt – auch besondere Beschichtungen, Schmierstoffe oder ein schmierstofffreier Betrieb sind möglich. PEEK & Edelstahl In anspruchsvollen…
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Sauberkeit in der Fertigung
Die Miniatur-Kugelgewindetriebe von August Steinmeyer kommen in verschiedenen Branchen zum Einsatz und werden an spezifische Anforderungen angepasst. In der optischen Industrie, zum Beispiel bei der Feinsteinstellung von Linsen, in der Mikroskopie oder in Vakuum- sowie UHV-Anwendungen spielt vor allem die Sauberkeit eine entscheidende Rolle. Der Hersteller bietet deshalb besondere Reinigungskonzepte für seine Produkte, die individuellen Ansprüchen gerecht werden. Miniatur-Kugelgewindetriebe mit Spindelgrößen von 3 mm bis 16 mm kommen überall dort zum Einsatz, wo eine hohe Präzision bei wenig Bauraum gefragt ist. „Unsere Systeme werden im Mikrometerbereich genauestens hinsichtlich Vorspannung und Spielfreiheit eingestellt“, berichtet Jonas Hillenbrand aus der Entwicklungsabteilung bei August Steinmeyer. „Partikel und insbesondere Rückstände aus gehärteten Materialien können das…
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Innovativer 5-Achs-Aligner für die Halbleiterindustrie
Mit dem 5DOF Miniatur-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem bietet Steinmeyer Mechatronik eine innovative Lösung für hochpräzise Ausrichtprozesse. Die Kombination aus Tripod und XY-Kreuztisch gewährleistet ein Höchstmaß an Präzision, Robustheit sowie Zuverlässigkeit und begeistert gleichzeitig mit kompakter Bauweise und hoher Anwenderfreundlichkeit. Eine ideale Lösung für die optische und aktive Ausrichtung. Das 5DOF Miniatur-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem des Dresdner Positionierspezialisten Steinmeyer Mechatronik besteht aus einem Tripod (MP200-3) und einem XY-Kreuztisch (KDT235) – beide mit Durchlichtöffnung – und vereint damit die Vorteile parallelkinematischer und gestapelter Systeme in einem Produkt. Es ist hochpräzise über den gesamten Verfahrweg, benötigt nur wenig Bauraum, ist einfach ansteuerbar und schafft dank seines robusten Aufbaus unter Industriebedingungen Millionen von Zyklen. Der 5-Achs-Alinger ist ein…
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Feinmess Suhl mit erweiterter DAkkS-Akkreditierung
Feinmess Suhl hat das Spektrum seiner bestehenden DAkkS-Akkreditierung erweitert: Die Experten für Präzision bieten ihren Kunden jetzt auch Kalibrier-Dienstleistungen für vertikale Längenmess- (digitale Höhenmessgeräte) und Längeneinstellgeräte an. Damit ergänzt das Unternehmen sein bereits langjährig erfolgreich bestehendes Service-Portfolio für horizontale Längenmessgeräte. In den Fertigungsprozessen der Industrie 4.0 und zahlreichen anderen Branchen ist das regelmäßige Kalibrieren der Prüfmittel unerlässlich, nach manchen Normen sogar vorgeschrieben. Nur so ist es möglich, eine gleichbleibend hohe Produktqualität sicherzustellen bzw. geforderte Standards zu erfüllen. Seit jeher zählen Kalibrier-Dienstleistungen zum Angebot von Feinmess Suhl: Neben der Zertifizierung nach ISO 9001 wird das Unternehmen regelmäßig von der Deutschen Akkreditierungsstelle (DAkkS) auditiert und akkreditiert. Feinmess Suhl hat die bestehende Akkreditierung…
