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Höchste Wiederholgenauigkeit und große Verfahrwege
Der neue Scantisch KT600-edlm des Dresdner Spezialisten für Positioniersysteme erreicht mittels Kompensation Genauigkeiten, die bisher ausschließlich Luftlagersystemen vorbehalten waren, ist jedoch bei vergleichbarer Performance deutlich kostengünstiger. In seiner Genauigkeitsklasse ist der KT600 derzeit der größte klassische XY-Scantisch am Markt. Steinmeyer Mechatronik bietet den Scantisch KT600-edlm ergänzend zum Kreuz-Durchleuchttisch KDT600-edlm an. Der neue Tisch in geschlossener Variante überzeugt mit erhöhten Verfahrwegen und optimierten Ablaufwerten. Mit seinem Hub von 450 mm gestattet der KT600-edlm auch das Abrastern sehr großer Wafer und Substrate in X- und Y-Richtung. Da er wie der KDT600 über ein trennbares Kabelterminal verfügt, sind eine vereinfachte Montage und Integration garantiert. Der Kreuztisch besticht durch höchste Wiederholgenauigkeit in Geradheit, Ebenheit…
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Große Verfahrwege, hohe Präzision
Steinmeyer Mechatronik, Spezialist für Positioniersysteme aus Dresden, hat seinem bewährten Kreuztisch KT310 einen großen Bruder an die Seite gestellt. Der neue Messtisch KT470 zeichnet sich insbesondere durch seine großen Verfahrwege aus und wird deshalb vorrangig in der Messtechnik oder zur Inspektion von Oberflächen eingesetzt. Der Kreuztisch KT470 verfügt über Verfahrwege von 300 x 300 mm und erreicht eine Wiederholgenauigkeit von ± 0,5 µm sowie eine Genauigkeit von ± 3,6 µm. Damit wird das neue XY-System höchsten Präzisionsanforderungen gerecht und eignet sich ideal für Messanwendungen mit elektronischer Kompensation für Systemgenauigkeiten bis 1 µm. Dies ist unter anderem in Messgeräten, Halbleitern oder bei der Qualitätssicherung der Fall. Die ausgezeichneten Ablaufwerte des KT470…
